 |
| Konzern
|
|
|
|
 |
Roth & Rau AG |
|
 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| Dünnschicht Solar GmbH |
|
100% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| Roth & Rau Microsys. GmbH |
|
100% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| CTF Solar GmbH |
|
100% |
|
|
|
|
|
|
|
|
| Shanghai Trading Co. Ltd. |
|
100% |
|
|
|
|
|
|
|
|
| Singapore Pte. Ltd. |
|
100% |
|
|
|
|
|
|
|
|
| Korea Co. Ltd. |
|
100% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| Switzerland AG |
|
100% |
|
|
|
|
|
|
|
|
| Australia Pty Ltd. |
|
100% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| USA Inc. |
|
100% |
|
|
|
|
|
|
|
|
| India Pvt. Ltd. |
|
100% |
|
|
|
|
|
|
|
 |
 |
|
|
|
| |
|
01 |
High Tech für Oberflächen
|
|
|
| |
 |
 |
Innovative Produkte und Technologien für zukunftsorientierte Anwendungen |
|
|
| |
|
|
|
ICP-Quelle
PRINZIP
• induktiv gekoppelte RF-Plasmaquelle
EINSATZBEREICHE
• RIE mit Flour- und Chlorchemie
• PECVD (insbesondere Isolatorschichten)
• in Kombination mit RF-Bias oder ohne Bias
SPEZIFIKATION
• Anbauquelle mit Flansch
• Durchmesser 400 mm
• 4 Planarantennen mit Leistungsteilern, Quarzglas-Koppelfenster
• RF-Leistung max. 2.5 kW
|
 Seitenanfang
|
|
|
|
|
| |
|
|
Karriere |
|
|
|
|
|
| |
|
|
 |
|
| |
| |
|
|
Events |
|
|
|
13.-17.09.2010 |
|
|
PSE (Roth & Rau MicroSystems GmbH)
|
|
| |
|
|
|
|
|
