 |
| Konzern
|
|
|
|
 |
Roth & Rau AG |
|
 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| Dünnschicht Solar GmbH |
|
100% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| Roth & Rau Microsys. GmbH |
|
100% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| CTF Solar GmbH |
|
100% |
|
|
|
|
|
|
|
|
| Shanghai Trading Co. Ltd. |
|
100% |
|
|
|
|
|
|
|
|
| Singapore Pte. Ltd. |
|
100% |
|
|
|
|
|
|
|
|
| Korea Co. Ltd. |
|
100% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| Switzerland AG |
|
100% |
|
|
|
|
|
|
|
|
| Australia Pty Ltd. |
|
100% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| USA Inc. |
|
100% |
|
|
|
|
|
|
|
|
| India Pvt. Ltd. |
|
100% |
|
|
|
|
|
|
|
 |
 |
|
|
|
| |
|
01 |
High Tech für Oberflächen
|
|
|
| |
 |
 |
Innovative Produkte und Technologien für zukunftsorientierte Anwendungen |
|
|
| |
|
|
|
Lineare Ionenquellen
PRINZIP
• Katodenlose hocheffektive Plasmaanregung durch Elektron-Zyklotron-Resonanz (ECR), modular aufgebaute Plasmakammer
EINSATZBEREICHE
• großflächiges, reaktives und chemisch gestütztes Ionenstrahlätzen (RIBE, CAIBE) sowie großflächige, ionenstrahlgestützte Abscheidung dünner Schichten (IBS, IBAD) oder In-line-Prozesse
SPEZIFIKATION
• Anbau-Ionenquelle mit Rechteck-Flansch
• Strahlbreite skalierbar von 400 mm bis 2000 mm
• Ionenstrahlparameter: max. 2.0 keV, > 700 mA
• Neutralisation mittels Plasma Bridge Neutralisator oder Beamschalter
|
 Seitenanfang
|
|
|
|
|
| |
|
|
Karriere |
|
|
|
|
|
| |
|
|
 |
|
| |
| |
|
|
Events |
|
|
|
13.-17.09.2010 |
|
|
PSE (Roth & Rau MicroSystems GmbH)
|
|
| |
|
|
|
|
|
