ECR-Ionenquellen PRINZIP

• Katodenlose hocheffektive Plasmaanregung durch Elektron-Zyklotron-Resonanz (ECR) EINSATZBEREICHE
• reaktives und chemisch gestütztes Ionenstrahlätzen (RIBE, CAIBE) sowie ionenstrahlgestützte Abscheidung dünner Schichten (IBS, IBAD) SPEZIFIKATION
• UHV-kompatible Anbau-Ionenquellen mit Flansch
• Strahldurchmesser 120 / 200 mm mit homogenem und kollimiertem Strahlprofil
• Ionenstrahlparameter: max. 2.0 keV, 500 / 800 mA
• In-situ-Justierung der Strahlachse für Sputterapplikationen möglich
• Neutralisation mittels Plasma Bridge Neutralisator oder Beamschalter