• In-line Produktionsanlage für die Wasserstoffplasmabehandlung von Siliziumschichten auf Glassubstraten
• Modulgröße bis 1,3m x 1,1m
• Hohe Plasmadichte bei gleichzeitig niedriger Ionenenergie für einen damage-freien Prozess durch den Einsatz mikrowellenangeregter Remote-Plasmaquellen

Solarzellen von der Rolle

Mittels modular gestalteter Anlagen können flexibler Substrate wie Bänder und Folien im Rolle-zu-Rolle-Verfahren für die Herstellung von Dünnschichtsolarzellen in Forschung & Entwicklung, im Pilotbetrieb und in der Kleinserienfertigung beschichtet werden. Die Bearbeitungsbreite kann zwischen 10mm und 300mm variiert werden.

Die Anlagen können mit verschiedenen PVD-Technologien wie Magnetron-Sputtern und Elektronenstrahlverdampfung für die Abscheidung von CIS-/CIGS-Mehrlagenschichtstrukturen sowie mit PECVD-Beschichtungsquellen für die Abscheidung mikrokristalliner Siliziumschichten oder siliziumbasierten Schichten (SiN, SiO, SiC) ausgerüstet werden.