Roth & Rau MicroSystems GmbH, ist ein unabhängiges Tochterunternehmen der Roth & Rau AG, welches sich auf den Bereich Mikroelektronik und Optik spezialisiert hat und anspruchsvolle technologische Lösungen zur Anwendung von Plasma- und Ionenstrahlverfahren für die Beschichtung, Strukturierung und Modifizierung von Oberflächen herstellt.

Die Anlagensysteme von Roth & Rau MicroSystems finden vor allem in der Halbleiterindustrie und der Präzisionsoptik sowie in der Mikrosystemtechnik und der Sensorik Anwendung. Die Basis für die spezifisch angefertigten Anlagen bilden Plasma- und Ionenstrahlquellen, welche die Schlüsselkomponenten aller Prozesssysteme formen und zugleich die Kernkompetenz von Roth & Rau MicroSystems darstellen.

Die Anlagensysteme für plasma- und ionenstrahlgestützte Dünnschicht- und Oberflächenbearbeitungsverfahren werden vorwiegend auf spezifische Kunden-anforderungen zugeschnitten. Dabei umfasst das Leistungsspektrum Beratung und Anlagendesign, Konstruktion, Montage, Softwareentwicklung und Prozessentwicklung sowie die Inbetriebnahme der Systeme vor Ort und Kundenservice nach der Installation.

Roth & Rau MicroSystems besitzt die ISO-Zertifikation ISO 9001.